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一种磁控溅射后封管硒化制备铜基薄膜太阳电池吸收层的方法技术
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下载一种磁控溅射后封管硒化制备铜基薄膜太阳电池吸收层的方法的技术资料
文档序号:41421103
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本发明涉及一种磁控溅射后封管硒化制备铜基薄膜太阳电池吸收层的方法;在背电极上通过磁控溅射制备金属前驱膜;将金属前驱膜合金化之后与适量硒置于一根封管之中,将其置于管式炉中,通过向管式炉内快速通入惰性气体从而利用封管内外气压差压紧管盖和管身。随...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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