下载一种芯片生产用芯片清洗装置的技术资料

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本技术涉及芯片生产技术领域,且公开了一种芯片生产用芯片清洗装置,包括清洗箱,清洗箱内部设置有转动机构和清洗机构,清洗机构位于转动机构左侧;转动机构包括转动部和夹持部;夹持部位于转动部表面;夹持部包括托板,托板上方设置有电动推杆和夹持板,电动...
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