下载一种可调节式气体流量测控装置及方法的技术资料

文档序号:41400584

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本发明公开了一种可调节式气体流量测控装置,包括依次连接的前端气路模块、比例阀测控模块和后端气路模块;所述比例阀测控模块包括一体成型的阀体部分和基座部分;所述阀体部分包括阀体外壳和内部的活动阀芯;所述基座部分连接前端气路模块和后端气路模块,且...
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