下载变形镜的重力补偿方法、装置及电子设备的技术资料

文档序号:41399774

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本申请提供了变形镜的重力补偿方法、装置及电子设备,方法包括:获取变形镜的物理参数、沿镜面长度方向的多个位置坐标、补偿端头弯曲力矩、补偿端头固定力、中间变量及中间变量初始值形成补偿斜率误差与各位置坐标对应关系的补偿斜率误差计算式,其中,中间变...
该专利属于深圳综合粒子设施研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳综合粒子设施研究院授权不得商用。

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