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硅晶片及其制造方法技术
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文档序号:4139935
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本发明提供一种硅晶片,其包括:第一除杂区,其形成为具有自硅晶片的顶面的预定深度;和本体区域,其形成于第一除杂区与硅晶片的背面之间,其中第一除杂区形成为具有自顶面约20微米至约80微米的深度,并且其中本体区域中的氧浓度在整个本体区域中以10%...
该专利属于美格纳半导体有限会社所有,仅供学习研究参考,未经过美格纳半导体有限会社授权不得商用。
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