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一种封装结构以及封装方法,封装方法包括:提供多个晶圆,包括第一晶圆和第二晶圆;每个晶圆包括基底和位于所述基底上的介质层,所述介质层露出的表面为键合面;所述晶圆包括键合区,所述键合区包括第一区域和环绕所述第一区域的第二区域;所述介质层中形成有...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种封装结构以及封装方法,封装方法包括:提供多个晶圆,包括第一晶圆和第二晶圆;每个晶圆包括基底和位于所述基底上的介质层,所述介质层露出的表面为键合面;所述晶圆包括键合区,所述键合区包括第一区域和环绕所述第一区域的第二区域;所述介质层中形成有...