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本申请实施例提供一种声学液滴喷射方法、装置及其制造方法。所述装置包括：衬底；体声波驱动器，其位于所述衬底的上侧并具有振动区域；其中，所述体声波驱动器包括：声反射层，第一电极，压电层和第二电极；所述第一电极、所述压电层和所述第二电极在垂直于所...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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