下载扩散炉炉口的密封装置及扩散炉的技术资料

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本技术涉及太阳能电池和半导体装备技术领域,提供一种扩散炉炉口的密封装置及扩散炉,其中,扩散炉炉口的密封装置包括石英管,向内周侧延伸有内凸台,向外周侧延伸有外凸台;且内凸台至石英管的端部形成凹口结构;第一炉门,设置于凹口结构内,且第一炉门与内...
该专利属于株洲三一硅能技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过株洲三一硅能技术有限公司授权不得商用。

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