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本文描述了狭缝模组件，该狭缝模组件具有狭缝模主体、跨该狭缝模主体的宽度延伸的涂覆狭缝，其中该涂覆狭缝与穿过该狭缝模主体的流体流动路径流体连通，并且该狭缝模主体具有用于调整穿过该涂覆狭缝的流体流动路径的截面高度的调整机构。该调整机构可包括具有...
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