下载一种半透明的氮化钽光阳极及其制备方法的技术资料

文档序号:41385135

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本发明属于光电催化水分解光电极材料制备技术领域,具体涉及一种半透明的氮化钽光阳极及其制备方法。该方法是利用负胶光刻法、双源电子束共蒸发沉积法和高温氮化法在透明基底基底上引入半透明的NbN<subgt;x</subgt;导电层,随...
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