下载集成器件及其制备方法的技术资料

文档序号:41379147

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本公开涉及一种集成器件及其制备方法,该集成器件包括:衬底;设置在衬底上并产生有二维电子气的化合物半导体复合结构;第一器件,包括第一电极、以及位于第一电极两侧的第二电极;第二器件,包括栅电极、以及位于栅电极两侧的源电极和漏电极;第一电极和所述...
该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。

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