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本申请公开了一种纯化设备,涉及氦气纯化技术领域。纯化设备包括外壳、液氮杜瓦、换热器和过滤器;液氮杜瓦设置于所述外壳内;换热器设置于所述液氮杜瓦与所述外壳之间,所述换热器包括第一换热通道和第二换热通道;过滤器设置于所述液氮杜瓦内,所述过滤器的...该专利属于中科富海(中山)低温装备制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科富海(中山)低温装备制造有限公司授权不得商用。
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