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本申请涉及一种绝缘气针及射频离子源，应用于射频离子源，包括：串联连接的进气管、气针本体以及出气管；其中，所述进气管以及出气管分别连接在气针本体两端；所述气针本体包括：导气件、绝缘件、第一电极、第二电极以及电磁屏蔽层；所述绝缘件包裹导气件，所...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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