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本发明提供一种真空压制装置。在真空腔室的开口设置有搬送单元，搬送单元包括：第一夹持器，其具有开口且能够保持片体，按照该开口与真空腔室的开口被气密地连结的方式安装在真空腔室；第二夹持器，其具有开口且能够保持片体，被配置在比第一夹持器远的位置并...
该专利属于北川精机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过北川精机株式会社授权不得商用。

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