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本公开提供一种半导体材料中单个电荷缺陷检测装置和检测方法，该检测装置包括：探针单元，以待测半导体样品中的自旋点缺陷作为探针；光源，用于对待测半导体样品施加激发光，以使得探针的自旋态实现初始化和读取，并在受激发时发出荧光；操控场装置，被配置为...
该专利属于中国科学技术大学苏州高等研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学苏州高等研究院授权不得商用。

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