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本发明涉及电子显微镜中的可变速率扫描，并特别提供一种用于对表面成像的方法，其包括用初始带电粒子束以第一扫描速率扫描所述表面的第一区域，以便从所述第一区域产生第一二次带电粒子束；以及用所述初始带电粒子束以比所述第一扫描速率快的第二扫描速率扫描...
该专利属于以色列商.应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过以色列商.应用材料以色列公司授权不得商用。

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