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本发明的自标定高精度扫描白光干涉系统包括白光入射单元、激光入射单元、样品扫描单元、成像单元和标定单元。白光入射单元产生的白光入射光束与激光入射单元产生的激光入射光束在样品扫描单元中共路为检测入射光束后，再分成样品入射光束和参考入射光束。样品...
该专利属于华南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南师范大学授权不得商用。

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