下载振镜标定系统、激光标刻设备及振镜标定方法的技术资料

文档序号:41349149

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本发明涉及一种振镜标定系统、激光标刻设备及振镜标定方法,属于激光振镜精度校准技术领域,其中,该系统包括振镜扫描设备、电路板和检测孔矩阵组成的校正板,电路板包括传感器矩阵;振镜扫描设备与电路板电连接,校正板设置在电路板上方,且检测孔矩阵中的检...
该专利属于武汉诺雅光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉诺雅光电科技有限公司授权不得商用。

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