下载一种石英加工用数控局部冷抛装置及方法的技术资料

文档序号:41348907

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本发明公开了一种石英加工用数控局部冷抛装置及方法,涉及平面研磨领域。现提出如下方案,其包括机台,机台上设有冷抛机构,冷抛机构包括:Z轴滑台,固定在机台上;X轴滑台,与Z轴滑台的输出端固定连接;打磨组件,与X轴滑台的输出端固定连接;抛光组件,...
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