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本发明公开了一种具有解耦特性的三维扫描测头，适用于微米及亚微米级的微位移及三维微小尺寸测量，其中包括有三维导向机构和传感检测单元；所述三维导向机构中包括有由四个二维柔性铰链杆组成的二维XY向导向机构和由四个一维柔性铰链杆组成的一维Z向导向机...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

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