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一种载物治具，具有一主体部，以及设置于主体部的吸附通道、导气孔及抽气通道，吸附通道与抽气通道通过导气孔连通；在载物治具表面的吸附通道内延伸形成支撑部，借此保护薄膜，避免薄膜于吸附时发生下陷、变形等不良状况。...
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