下载高低齿预分片机构和自动上下料插片机的技术资料

文档序号:41340038

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本申请提供了一种高低齿预分片机构和自动上下料插片机,适于对多片待处理硅片进行预分片,多片待处理硅片中每相邻两片待处理硅片之间具有空隙。高低齿预分片机构包括:基座;多组叉齿,连续地竖立在基座上,每组叉齿包括相对的第一齿和第二齿,其中,第一齿的...
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