温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供配方指令步骤及来自外部逻辑的配方输入。一种产生由批处理过程在自动化制造环境中执行的产品配方的方法，所述产品配方与多个动作、集合的过渡及集合的参数相关，及所述多个动作定义多个逻辑水平，包括阶段水平（所述批处理过程在该阶段水平与设备互...
该专利属于费舍－柔斯芒特系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费舍－柔斯芒特系统股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。