下载基于3OMEGA热导率法的沉积垢层测厚实验系统及测试方法的技术资料

文档序号:41335104

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本发明公开了一种基于3OMEGA热导率法的沉积垢层测厚实验系统及测试方法。系统包括用于进行沉积过程实验并形成沉积垢层的沉积过程实验装置以及用于沉积垢层的测厚的沉积垢层测量实验装置。方法包括:制备沉积垢层测量实验装置并安装;打开风机加热器直至...
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