下载具有抑制特性偏移的结构的薄膜晶体管面板及其制造方法的技术资料

文档序号:4133340

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一种薄膜晶体管面板包括:基板(1);薄膜晶体管(3),形成在基板(1)上,具有栅电极(6)、栅绝缘膜(7)、半导体薄膜(8)、在半导体薄膜(8)上形成的一对欧姆接触层(10、11)、以及在各欧姆接触层(10、11)上形成的源电极(12)和漏...
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