下载用于电解沉积过程的电极组件的技术资料

文档序号:4133026

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本发明涉及用于电解沉积过程的电极组件。一种用于电解沉积过程的电极组件。依照示例性实施例,该电极组件包括用于与溶液进行电流交换的电极,用于除去存积在工件和溶液之间的气体的通道,和用于将电极和工件绝缘的套管。...
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