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本发明提供一种基于扫描近场光学显微镜的近场扫描光刻系统及方法，基于扫描近场光学显微镜的近场扫描光刻系统包括扫描探针、光刻载体、紫外激光模块和扫描近场光学显微镜，扫描探针的针尖表面上覆盖有一层金属薄膜，在金属薄膜上加工有亚波长孔径；光刻载体包...
该专利属于北京市科学技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京市科学技术研究院授权不得商用。

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