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一种具有P型浮空层的槽栅IGBT制造技术
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下载一种具有P型浮空层的槽栅IGBT的技术资料
文档序号:4132551
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一种具有P型浮空层的槽栅IGBT,属于半导体功率器件技术领域。本发明在积累层控制的沟槽栅绝缘栅双极型晶体管基础上引入了P型浮空层(11),有效改善了槽栅底部的电场集中效应,大大提高了器件的击穿电压。同时,P型浮空层的存在引入了一个JFET区...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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