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一种具有P型浮空层的载流子存储槽栅IGBT制造技术
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文档序号:4132550
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一种具有P型浮空层的载流子存储槽栅IGBT,属于半导体功率器件技术领域。本发明在现有载流子存储槽栅双极型晶体管基础上引入了P型浮空层(13),使得载流子存储层几乎无需承受耐压,降低了正向导通压降;P型浮空层还改善了槽栅底部的电场集中效应,使...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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