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本技术提供一种半导体生产辅助设备，该半导体生产辅助设备，包括底座，底座的顶部设置有限位件，限位件的外侧设置有压合件，限位件包括螺套、螺杆、连接块、限位板、蜗轮和蜗杆，压合件的外侧设置有缓冲件，螺套固定连接在底座的顶部，螺杆螺纹连接在螺套的内...
该专利属于四川雅吉芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川雅吉芯电子科技有限公司授权不得商用。

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