下载一种基于声悬浮技术的芯片取放装置的技术资料

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本技术涉及一种基于声悬浮技术的芯片取放装置,包括:XY位移平台,XY位移平台的X轴导轨上设置支架,支架上以上下分布的方式相对布置两个超声波发生器;XY位移平台的Y轴导轨上设置载物台;在XY位移平台中X轴导轨的端部处布置PCB固定座;支架和P...
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