温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于湿式工艺的基板用输送载板，其包含一板体，该板体中形成至少一基板定位孔，所述基板定位孔周边孔壁上形成复数个止挡凸部，该数个止挡凸部顶缘至板体顶面间具有一间距，用以提供基板置入基板定位孔中，并为该复数个止挡凸部支撑定位，由此，利用该输送...
该专利属于扬博科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬博科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。