下载夹持体及夹持装置的技术资料

文档序号:41310103

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本技术提供了一种夹持体及夹持装置,属于晶硅加工技术领域,解决了现有技术夹头夹持时无法与晶棒端面紧贴的问题。本技术包括固定组件;活动组件,所述活动组件包括:活动单元,所述活动单元活动设置于所述固定组件上,活动单元具有一顶压端,所述顶压端用于顶...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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