下载一种氧化镓二极管的钝化结构及其制备方法的技术资料

文档序号:41307833

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本发明公开一种氧化镓二极管的钝化结构,包括氧化镓衬底层、氧化镓外延层、阴极电极、阳极电极以及P型半导体一。氧化镓外延层为凸起状结构,且其下底面生长于氧化镓衬底层的一侧上。氧化镓外延层设有侧面和端面,侧面的一端与氧化镓外延层的上底面相交,侧面...
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