下载一种提高应力释放的发光二极管外延片及其制备方法的技术资料

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本发明提供一种提高应力释放的发光二极管外延片及其制备方法,包括衬底以及依次沉积在衬底上的缓冲层、非掺杂GaN层、复合n型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层以及P型GaN层;其中,复合n型GaN层包括依次沉积在非掺杂GaN层上的周期性结构层及多...
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