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铜靶材的加工方法技术
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文档序号:4129882
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一种铜靶材的加工方法,包括:对铜工件进行三次精度渐增的机械加工,其中,在第三次机械加工时采用喷雾冷却,在三次机械加工过程中用全周夹具固定铜工件,并且在第一次机械加工和第二次机械加工之间对铜工件进行应力释放。通过所述铜靶材的加工方法可以防止铜...
该专利属于宁波江丰电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料有限公司授权不得商用。
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