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本申请提供了一种用于晶圆搬运的机械臂，包括伸缩臂以及通过第一转动组件独立转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；其中，第一夹爪的实体线通过第一转动组件上的第一走线通道进入伸缩臂内部，第二夹爪的电信号通过导电滑环传输至伸缩臂内部，气管通过第...
该专利属于无锡富创得智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡富创得智能科技有限公司授权不得商用。

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