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本发明一种半导体器件及形成方法,其中半导体器件包括:基底;位于所述基底上的多个第一导电层,所述多个第一导电层沿第一方向排布,且所述第一导电层与第二方向平行,所述第一方向与所述第二方向垂直;位于所述第一导电层上的导电插塞,所述导电插塞平行于所...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明一种半导体器件及形成方法,其中半导体器件包括:基底;位于所述基底上的多个第一导电层,所述多个第一导电层沿第一方向排布,且所述第一导电层与第二方向平行,所述第一方向与所述第二方向垂直;位于所述第一导电层上的导电插塞,所述导电插塞平行于所...