下载夹头及夹持组件的技术资料

文档序号:41292062

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本技术提供了一种夹头及夹持组件,属于晶硅加工技术领域,解决了现有技术夹头夹持时无法与晶棒端面紧贴的问题。本技术包括固定模块;转动模块,所述转动模块相对于固定模块转动设置,且所述转动模块具有顶压端,所述顶压端用于顶压待加工件;以及弹性模块,弹...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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