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本发明提供了一种具有衬底的流量传感器，所述衬底具有传感元件（２０７０）以及与传感元件对准的流动通道（２０４０）。该传感元件检测流体的至少一种特性。通过在对准层中形成的一个或多个导向元件（２０３０）对准流动通道。由于以晶片水平提供导向元件，使...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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