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本技术公开了一种用于提高原子力显微镜测量灵敏度的相位梯度超表面，它包括半导体基底、金属纳米减透层、半导体分隔层和金属纳米椭圆柱结构层；金属纳米椭圆柱结构层包括多个呈周期性阵列分布的相位梯度超表面单元，相位梯度超表面单元的排列周期为1200～...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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