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在吸附脱附处理装置(100)的内部上方配置有包含供吸附脱附部件(15)插通的开口孔(3A)的板状部件(3)。吸附脱附部件(15)包含筒状的吸附脱附元件(131)和具有凸缘部(2F)的安装板(2)。具备安装区域(1A)，该安装区域设置于在使吸...
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