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本发明公开了一种基于十字形谐振腔的单轴加速度传感器，属于光学器件技术领域，包括基底层、金属层、矩形波导、十字形谐振腔、金属薄板和金属块；本发明构建了一个由十字形谐振腔与直波导耦合而成的波导结构，在谐振腔内激发出表面等离激元共振，当加速度变化...
该专利属于东北林业大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北林业大学授权不得商用。

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