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一种双端加热型相变开关器件及制作方法技术
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文档序号:41286654
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一种双端加热型相变开关器件,属于射频和微波开关器件技术领域。所述相变开关器件包括衬底,位于衬底之上的衬底隔离层,位于衬底隔离层之上的加热底电极层,位于加热底电极层之上的底电极隔离层,位于底电极隔离层之上的相变层和射频传输层,位于相变层和射频...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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