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堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备技术
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文档序号:41282804
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本申请提供一种堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备。上述方法包括:在衬底上依次堆叠设置第一有源结构、隔离有源结构和第二有源结构;基于第一有源结构,形成第一晶体管;在第一晶体管朝向第二有源结构的第一表面上沉积第一绝缘材料,以形成第一半...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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