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本发明涉及半导体技术领域，提供了一种晶圆对准装置及键合系统，所述晶圆对准装置，包括：基座、运动环以及至少两个中心定位单元，所述运动环被配置为：所述运动环沿所述轴向方向相对所述基座正向运动时，驱动各所述中心定位件沿所述径向向内同步运动，反向运...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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