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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:41254266
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提供在不增加恢复损耗的情况下改善RRSOA的半导体装置及其制造方法。晶体管与二极管形成于共通的半导体基板,半导体基板具有晶体管区域和二极管区域,二极管区域具有:第1导电型的第1半导体层,其设置于半导体基板的第2主面侧;第1导电型的第2半导体...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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