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一种散斑匀化装置制造方法及图纸
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下载一种散斑匀化装置的技术资料
文档序号:41252395
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本发明提供了一种散斑匀化装置,用于解决现有的散斑匀化装置存在的运动稳定性差、两轴谐振频率不一致、需要闭环工作以及致动器施加力不均匀的技术问题。本发明的散斑匀化装置,包括对称设置于运动件四个边角位置的四组弹性梁,每组弹性梁包括第一类弹性梁和与...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。
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