下载一种散斑匀化装置的技术资料

文档序号:41252395

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种散斑匀化装置,用于解决现有的散斑匀化装置存在的运动稳定性差、两轴谐振频率不一致、需要闭环工作以及致动器施加力不均匀的技术问题。本发明的散斑匀化装置,包括对称设置于运动件四个边角位置的四组弹性梁,每组弹性梁包括第一类弹性梁和与...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。