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本发明提供了一种金属层断裂的测试结构,包括:顶层金属层包括多个间隔的顶层金属线,之间通过介质层隔开;次顶层金属层位于顶层金属层的下方,包括多个间隔的次顶层金属线,之间通过介质层隔开,多个次顶层金属线依次通过连接线连接在一起;第一金属焊盘和第...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种金属层断裂的测试结构,包括:顶层金属层包括多个间隔的顶层金属线,之间通过介质层隔开;次顶层金属层位于顶层金属层的下方,包括多个间隔的次顶层金属线,之间通过介质层隔开,多个次顶层金属线依次通过连接线连接在一起;第一金属焊盘和第...