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本发明公开了一种宽带硅基微机械波导一体化转换结构，包括波导输入/输出口、微机械波导渐变过渡结构、平面带线过渡结构、平面带线输入/输出口。本发明通过微机械加工形成的高介电常数硅悬梁可用于悬置微带的支撑衬底，同时缩短悬置微带到微机械波导短路面的...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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